Difuzijos proceso tyrimas


Elektronikos namų darbas. Elektronikos įtaisų namų darbas. Darbo tikslas. Darbo rezultatai. Darbo rezultatų aptarimas. Naudota Literatūra.


Darbo tikslas: Pagilinti puslaidininkinės ir funkcinės elektronikos srities žinias, įgyti elektroninių įtaisų ir jų gamybos procesų modeliavimo bei projektavimo įgūdžių.

Priemaišos srauto tankį, priemaišų įterpimo etape, priklausomybė nuo laiko gaunama taikant primąjį Fiko dėsnį.[2] Difuzijos srauto tankis randamas taip:

Darbo rezultatų aptarimas: Šio namų darbo metu atlikome tris užduotis susiijusias su terminės difuzijos procesu, kuri yra taikoma silicio integrinių grandynų gamybos procese.

Pirmąjame uždavinyje priemaišos srauto tankį, priemaišų įterpimo etape, priklausomybė nuo laiko gaunama į pirmąjį Fiko dėsnį įrašę priemaišos pasiskirstymo išraišką, taip gaudami šią formulę: .

Difuzijos proceso tyrimas. (2015 m. Gegužės 28 d.). http://www.mokslobaze.lt/difuzijos-proceso-tyrimas.html Peržiūrėta 2016 m. Gruodžio 03 d. 02:32