Puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesų modeliavimas


Puslaidininkiniu prietaisu ir integriniu grandynu gamybos. Integrinių grandynų projektavimas. Is grafiko matyti, kad laikui. Legiravimo dozė. Aplynkos procesų modeliavimo taikymas.lt.

Fizikos laboratorinis darbas. Puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesų modeliavimas. Išnagrinėti puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesus, išmokti modeliuoti terminės priemaišų difuzijos procesą. Išvados.


Išnagrinėti puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesus, išmokti modeliuoti terminės priemd difuzijos koeficientas (cm2/s); t ld difuzijos koeficientas (cm2/s); t laikas (min); n0 priemaišų koncentracija bandinio paviršiuje (1/cm3); x koordinatė.

D = d0exp( -wa/kt); wa difuzijos proceso aktyvacijos energija (ev); k bolcmano konstanta; wa difuzijosd difuzijos koeficientas (cm2/s); t stadijų trukmė (min); n0 priemaišų konce5) apskaičiuoti priemaišų pasiskirstymą tranzistord – difuzijos koeficientas (išvados: priemaišų difuzija, įterpimo stadijoje, skaičiuojama pagal priemaišų įterpimo iš neišsenkančio šaltinio, modelį. Teorija teigia, kad vykstant difuzijai iš neišsenkančio šaltinio, ilgėjant difuzijos laikui, koncentracija koordinatės didėjimo kryptimi didėja. Ir kai laikas priartėja prie begalybės, priemaišų koncentracija, plokštelės gilumoje, artėja prie priemaišų koncentracijos plokštelės viršuje, tokiu atveju priemaišų koncentracija pastovi viso bandinio skerspjūvyje, grafikas tampa lygiagretus ordinačių ašiai pirmajame grafike (1 pav. ) yra pavaizduotas priemaišų pasiskirstymas, kai difuzija vyksta iš neišsenkančio šaltinio. Kaip iš kreivės matyti priemaišų atomai įsiskverbia į plokštelę, jų koncentracija viršija plokštelės medžiagos atomų koncentracija ir esant gyliui apytiksliai. mm pasiekia maksimumą. Toliau didėjant gyliui priemaišų koncentracija eksponentiškai mažėja. Antrame grafike (2 pav. ) yra difuzinio srauto priklausomybė nuo laiko. Prasidėjus difuzijos procesui difuzinis srautas sparčiai didėja ir praėjus minutėms, pasiekia maksimumą. Toliau laikui bėgant difuzinis srautas mažėja - didėjant laikui priemaišų koncentracija prie paviršiaus didėja, tai trukdo priemaišų atomams skverbtis gilyn. Trečiame grafike (3 pav. ) yra legiravimo dozės priklausomybė nuo laiko. Iš grafiko matyti, kad laikui bėgant legiravimo dozė didėja. Taip yra todėl, kad laikui didėjant, didėja ir priemaišų atomų skaičius praėjusių pro vienetinį plokštelės paviršiaus plotą, nes laikui bėgant priemaišų koncentracija auga, tai įrodė pirmas grafikas. O šių atomų skaičius ir yra legiravimo dozė.

Puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesų modeliavimas. (2010 m. Kovo 03 d.). http://www.mokslobaze.lt/puslaidininkiu-integriniu-grandynu-gamybos-procesu-modeliavimas.html Peržiūrėta 2016 m. Gruodžio 03 d. 15:52