Vidinių įtempių įtaka aukojamu sluoksniu formuojamų mikroelektromechaninių membranų stabilumui


Lietuvių projektas. Vidinių įtempių įtaka aukojamu sluoksniu formuojamų mikroelektromechaninių membranų stabilumui. Įvadas. Įtempių matavimo metodas. Įtempių matavimo rezultatai. Įtempių poveikis mikrostruktūrų formavimui. Išvados. Padėkos.


Patvirtinta galimybė kontroliuoti tempiančius įtempiusPECVD

technologija suformuotose silicio nitrido membranose, kurie kito

nuo keliųMPaiki daugiau nei 200MPa.

Nustatyta, kad dėl įtempių atsirandantis dangos-padėklo

išlinkimas mažėja didinant temperatūrą. Temperatūrinės įtempių

komponentės pokytis rodo žymų relaksacijos procesą dangose po

nusodinimo. Čia matoma tolimesnių tyrimų kryptis.

Atlikti eksperimentai su keliomis konstrukcinėmis ir

aukojamomis medžiagomis. Nustatytas vidinių įtempių dangoje

poveikis aukojamu sluoksniu formuojamų membranų procesams.

Geriausi rezultatai gauti naudojant kaip aukojamąją medžiagą - varį.

  • Lietuvių kalba Projektai
  • 2013 m.
  • 1 puslapis
  • Lietuvių projektai
  • Adobe PDF 2054 KB
  • Vidinių įtempių įtaka aukojamu sluoksniu formuojamų mikroelektromechaninių membranų stabilumui
    9 - 3 balsai (-ų)
Vidinių įtempių įtaka aukojamu sluoksniu formuojamų mikroelektromechaninių membranų stabilumui. (2013 m. Gegužės 23 d.). http://www.mokslobaze.lt/vidiniu-itempiu-itaka-aukojamu-sluoksniu-formuojamu-mikroelektromechaniniu-membranu-stabilumui.html Peržiūrėta 2016 m. Gruodžio 08 d. 10:05